特种气体厂-多年经验

氦气质谱检漏的用方法

选用背压法检漏时，首要将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，假如被检产品外表有漏孔，氦气便经过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将外表的剩余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会经过漏孔走漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品总漏率丈量。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管。检漏仪给出的漏率值为丈量漏率，需求经过换算公式计算出被检产品的等效规范漏率。

特种气体存放

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。特种气体管道的施工施工管理和现场施工的几个注意点焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认今天的焊接作业是否存在焊接隐患。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。

特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。

电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。