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氦气质谱检漏的用方法

选用背压法检漏时，首要将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，假如被检产品外表有漏孔，氦气便经过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将外表的剩余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会经过漏孔走漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品总漏率丈量。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。检漏仪给出的漏率值为丈量漏率，需求经过换算公式计算出被检产品的等效规范漏率。

特种气体管道试压

1、试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管。

2、管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启;系统1高点应设放气阀，1低点应设排水阀。

3、试压时，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，表的量程应为1大被测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力波动较小的其他位置。

特种气体管道的施工

施工管理和现场施工的几个注意点

焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认今天的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。焊接试样要附上焊接参数。特种气体系统的设计与施工特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。每天的焊接试样要妥善保存。（焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷）

特种气体的分类

特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。***、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可显著降低整个系统的成本。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。