特种气体供应-*** 安徽谱纯***配置

氦气质谱检漏的用方法

选用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外外表的周围大气环境中，再选用吸***的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，然后完成被检产品走漏丈量。依照收集氦气方式的不同，又能够将正压法分为正压吸***法和正压累积法。其间正压吸***法选用检漏仪吸***对被检产品外外表进行扫描探查，能够完成漏孔的准确定位；如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。 正压累积法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品悉数罩起来，选用检漏仪吸***丈量必定时刻段前后的氦罩内氦气浓度改变量，完成被检产品总漏率的准确丈量。

特种气体存放

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。

特种气体的分类

特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。其间正压吸***法选用检漏仪吸***对被检产品外外表进行扫描探查，能够完成漏孔的准确定位。