合肥电子特种气体-经验可靠「安徽谱纯」

   CO2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除，本公司经过多年潜心研究和多项实验，研发出的多元精馏添加剂打破了杂质共沸而无法除去的技术难题，使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段，较传统工艺一次性投资降低 50%。包装标志：有毒气体。常温下，干氯不腐　蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无　水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。

 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。

特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体可杀灭细菌（及其内孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。