企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 安徽 合肥 合肥市 |
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公司地址: | 合肥市经开区翡翠路天时广场二期2204室 |
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
特种气体是指稀有气体或超高纯度(99.995% 以上)的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质,它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,特种气体厂家,为有别于其它领域应用的气体,特种气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。
电子特种气体种类多样行业集中度高,细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元,同比增长 5.7%;国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元,特种气体价格,预计到 2020 年将突破 68 亿元。特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,环氧乙1烷可杀灭细1菌(及其内孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。
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