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一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,激光气体,仍可用氩激光称号氩离子激光。中性原子激光中,常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著,所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地),使它广用于扫描读码设备及全像等。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。

准分子(Excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。CO2激光辅助鼓膜成形术的总体满意,与传统手术相比,该手术方式具有操作简便、创伤小、且可重复进行的优点。铜蒸汽激光产品可发生100W以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm),金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途,例如血紫质衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm,而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化,发生可癌细胞的物质。不过,激光气体商家,铜蒸汽激光激起染料激光,也可得到这种光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能够除去某些胎记,作用优于用氩离子激光。

激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体,对气体质量要求高,准分子激光气体,激光混合气配制精度要求高,高纯二氧化碳纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯氦气的纯度要求99.999%,二氧化碳是产生激光的,氦气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,激光气体采购,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。


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